Torr International

Torr International

Комбинированная установка осаждения пленки на образец  «Torr International», США, 2010 г. Назначение и области применения. Установка предназначена для нанесения тонкопленочных (до 10 мкм) металлических, диэлектрических и полимерных покрытий на поверхность подготовленных образцов (изделий из сплавов различных систем).

Параметры оборудования (технические данные, фотографии): Установка имеет вакуумную (до 10-6 мм.рт.ст.) камеру рабочим объемом 20 л., обеспечена электронно-лучевыми источниками питания с четырьмя тиглями и одним фиксированным магнетроном (диаметр распыляемой мишени ~ 50 мм). В рабочей камере также размещены измеритель толщины наносимой пленки и вращающийся подложкодержатель. Возможная рабочая среда камеры после откачки воздуха: Ar, He, N2, C2H4, O2 и др.

Принцип и возможности метода исследования, на которых основана работа оборудования. Принцип действия основан на явлении физического распыления катода (материала мишени) ускоренными ионами рабочего газа, которые бомбардируют поверхность мишени под действием прикладываемого отрицательного потенциала.

Основные требования к исходным компонентам, материалам или к обрабатываемым образцам для исследования. Поверхность образца: гладко отполированная, обезжиренная, без остатков абразива и растворов кислот, насухо протертая. Максимальные размеры образцов для нанесения покрытий: 100×100×200мм. Время нанесения покрытия толщиной ~ 2мкм составляет ~ 2 часа.