JEOL JAMP-9500 F Сканирующей Оже-спектрометр сверхвысокого разрешения

JEOL JAMP-9500 F Сканирующей Оже-спектрометр сверхвысокого разрешения

JAMP-9500F - это Оже-спектрометр с высокими техническими характеристиками, с полусферическим анализатором для обеспечения высокопроизводительного анализа состояния химических связей в нано и микро областях, оснащенный электронной пушкой с термополевой эмиссией, используемая также в ЭЗМА, создающей высокий, стабильный ток электронного зонда.

Высокоточный эвцентрический моторизованный столик позволяет выполнять ранее невозможный анализ непроводящих образцов. Это, в сочетании с ионной пушкой плавающего типа, делает универсальной для подготовку любых типов образцов, например, металлов и диэлектриков, для получения информации о химическом составе, и другую информацию.

Высокая чувствительность и разрешение детектора

Использование анализатора с переменным разрешением по энергии позволяет проводить анализ состояния химических связей в режиме высокого разрешения, а также высокоскоростное картирование в режиме высокой чувствительности.

Термополевая электронная пушка типа Шоттки

Электронная пушка позволяет получать изображение с пространственным разрешением до 3 нм, а также осуществлять эффективный анализ состояния химических связей благодаря большому току пучка - до 200 нА. Это стало возможным благодаря использованию технологий изготовления электронной оптики, которые JEOL развивал в течение многих лет в полевых электронных пушках типа Шоттки, используемых в РЭМ и ЭЗМА.

Эвцентрический столик образцов

Эвцентрический столик образцов, разработанный специально для аналитического прибора, оснащенного многочисленными оптическими системами, позволяет получать воспроизводимость установки центра образца по высоте с большой точностью. Свободно выбираемый наклон столика до 90 ° делает возможным сложный анализ диэлектриков.

Долговечность

Новая концепция дизайна, ориентированного на долговечность, сокращает эксплуатационные расходы, связанные с заменой катода ионной пушки и эмиттера электронной пушки.

Программное обеспечение

Разделение перекрывающихся Оже пиков, которые усложняют работу аналитиков, наряду со сложным анализом химических связей решается одним щелчком мыши с помощью функции разделения сигналов. JAMP-9510F позволяет проводить исследование изображения поверхности образца с высоким пространственным разрешением, используя режим вторичных электронов, картирование распределения элементного и химического состава в Оже-электронах и анализируя профиль концентрации вдоль выбранной линии (линейный профиль). К тому же, этот прибор может проводить анализ профиля концентрации по глубине при использовании ионного травления поверхности образца.

Основные технические характеристики

Электронно-оптическая система

Электронно-оптическая система
Разрешение в режиме SEI 3нм (при 25кВ, 10пA)
Диаметр электронного зонда при Оже-анализе 8нм(при 25кВ, 1пA)
Электронная пушка Полевой катод Шоттки типа
Ускоряющее напряжение 0,5 – 30 кВ
Ток зонда От 10-11 до 2×10-7 А
Увеличение x 25 to 500,000
Система Оже-анализа
Анализатор Электростатический полусферический анализатор (HSA)
Энергетическое разрешение (ΔE/E)(ΔE/E) 0.05 to 0.6%
Чувствительность 840,000 cps/7 каналов или более (при 10 кВ, 10 нA Cu-LMN, разрешение 0.6%, 60º наклон образца)
Система детектирования Многоканальная
Ионная пушка
Энергия ионов От 0.01 доto 4 кэВ
Ток ионов (поглощенный ток) 2 A и более при энергии 3,000эВ, 0.03A и более при 10эВ
Функция нейтрализации встроенная
Столик образцов
Перемещение образца X: ±10 мм, Y: ±10 мм, Z: ±6 мм, T (наклон): 0 to 90, R (вращение): 360(бесконечное)
Размер образца Ø 20 мм (5мм толщиной) макс.
Система откачки сверхвысокого вакуума
Предельное давление в камере образцов 5×10-8 Па или менее
Отжиг камеры Автоматический со встроенными нагревателями
Программное обеспечение
Собираемые данные Спектр, профиль по глубине, линейный профиль, Оже-изображение, SEI (изображение во вторичных электронах)
Обработка полученных данных Качественный и количественный анализ, дифференциация, обработка изображения, ввод текста, сглаживание, приложение для деконволюции пиков

Перечень основных направлений исследований

Исследования на УНУ Оже - электронный спектрометр JEOL JAMP-9500F направлены на решение фундаментальных и прикладных задач в области исследования и контроля химического и фазового состава, формы и структуры наноматериалов и изделий из них, а так же макрообъектов имеющих наноразмерные структурные составляющие. Для проведения данных исследований применяются методы анализа изображений поверхности образца с высоким пространственным разрешением, используя режим вторичных электронов, картирование распределения элементного и химического состава в Оже-электронах и анализ профиль концентрации вдоль выбранной линии (линейный профиль) с нанометрическим и субнанометрическим разрешением. Возможно проведение анализа профиля концентрации по глубине при использовании ионного травления поверхности образца.

порядок доступа к УНУ

- Регламентируется Приложением 3 к Положению об уникальной научной установке «Оже - электронный спектрометр JEOL JAMP-9500F» «Порядок оказания услуг на УНУ JEOL JAMP-9500F» Приложение 3

- контактную информацию и ответственных сотрудников УНУ;

Адрес: 119991, г. Москва, Ленинский проспект, д. 49

Руководитель УНУ JEOL JAMP-9500F чл.-корр. РАН Григорович Константин Всеволодович: +7 (499) 135-43-81

Ответственный сотрудник УНУ JEOL JAMP-9500F к.т.н. Демин Контантин Юрьевич +7 (499) 135-44-93, +7 (499) 135-96-69 e-mail: dkx@yandex.ru

- форму заявки, в том числе и для интерактивного заполнения на сайте; Форма заявки - Приложение 5 к Положению об уникальной научной установке «Оже - электронный спектрометр JEOL JAMP-9500F» «Форма заявки на выполнение исследований на УНУ JEOL JAMP-9500F» на приложение 5 Положения интерактивная форма заявки -